|
нитрид титана
Проводник (удельное сопротивление 30-70 микроом-см), используемый в кремниевой технологии как барьер, разделяющий кремний и металлические контакты; высокая температура плавления (2950 oC); осаждается методом химического осаждения из паровой фазы при низком давлении.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html] |
EN |
|
FR |
|
|
Тематики
- полупроводниковые приборы
|