зачистка (в полупроводниковых приборах)

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	зачистка (в полупроводниковых приборах) Процесс удаления материала с поверхности подложки; обычно подразумевается, что удаление выполняется не с целью создания какой-либо конфигурации, например, удаление всего резиста после литографии и травления. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR