PTTC.PNG
Skip to main content.

быстрое термохимическое осаждение из паровой фазы
Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке
  быстрое термохимическое осаждение из паровой фазы
 Термически ускоренный процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при высокой температуре, но за очень короткое время.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN

FR

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • RTCVD
  • rapid thermal chemical vapor deposition

 

Внимание!

Закрыть