отдаленная плазма. Справочник технического переводчика. Интент.

	отдаленная плазма Данным термином обозначается режим плазменной обработки, при котором подложка располагается отдельно от плазмы и, следовательно, не подвергается непосредственному воздействию плазмы. Необходимые реакции (например, травление) реализуются с помощью извлечения ионизированных элементов из плазмы и их направления к поверхности подложки. Обработка методом отдаленной плазмы позволяет добиться меньшего повреждения поверхности, чем в стандартном процессе, так как при этом генерируемые плазмой ионы долетают до поверхности подложки, уже потеряв часть энергии. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR

отдаленная плазма