физическое осаждение из паровой фазы

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	физическое осаждение из паровой фазы Осаждение тонких пленок, осуществляемое с помощью физического переноса материала (например, с помощью термического испарения или распыления) от источника к подложке; химический состав осажденного материала во время данного процесса не изменяется. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR