плазма (в полупроводниковых приборах)

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	плазма (в полупроводниковых приборах) Электропроводящий газ, состоящий из ионизированных частиц, которые используются для вытравливания ненужного материала в процессе химической или физической бомбардировки. Плазменное травление происходит в реакторе, который может быть объемного или плоского типа. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR