физическое травление

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	физическое травление Травление распылением; процесс травления через физические взаимодействия (передача момента) между ускоряемыми ионами химически инертных веществ (например, Ar) и протравливаемым твердым телом; анизотропное, неизбирательное. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR