молекулярно-лучевая эпитаксия. Справочник технического переводчика. Интент.

	молекулярно-лучевая эпитаксия Процесс физического осаждения, (в основном из паровой фазы), выполняется в сверхвысоком вакууме (ниже 10-8 торр) и при температуре подложки, обычно не превышающей 800 ^oC; свободный (молекулярный) поток реагентов для осаждения и химическая чистота поверхности подложки позволяют получить хорошо управляемый рост ультратонких эпитаксиальных слоев; метод осаждения с высочайшей точностью, используемый при обработке полупроводников. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR

молекулярно-лучевая эпитаксия