PTTC.PNG
Skip to main content.

химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении
Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке
  химическое осаждение из паровой фазы при низком давлении
 Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при пониженном (по сравнению с атмосферным) давлении
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN

FR

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • LPCVD
  • Low-Pressure Chemical Vapor Deposition

 

Внимание!

Закрыть