литография (в полупроводниковых приборах)

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	литография (в полупроводниковых приборах) Перенос конфигурации или изображения с одного носителя на другой, например, с маски на подложку. Если для осуществления переноса применяется свет, используется термин фотолитография. Микролитографией называется процесс, в котором для переноса изображений применяется излучение в субмикронном диапазоне. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR