горизонтальная печь (в полупроводниковых приборах). Справочник технического переводчика. Интент.

	горизонтальная печь (в полупроводниковых приборах) Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с горизонтальным расположением технологического канала и вертикальным расположением подложек в кассете; используется для термического окисления, химического осаждения из паровой фазы, диффузии и отжигов; предназначена для групповой обработки; противоположная конструкция: вертикальная печь. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR

горизонтальная печь (в полупроводниковых приборах)