печь (в полупроводниковых приборах)

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	печь (в полупроводниковых приборах) Устройство, используемое при изготовлении полупроводниковых приборов для высокотемпературной обработки подложек в среде строго управляемого состава; используются массивные нагревательные элементы и поэтому не допускаются быстрые изменения температуры подложек; процесс требует большого количества тепловой энергии; экономичной альтернативой является процесс RTP. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR