эпитаксия

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	эпитаксия Процесс, при котором тонкий слой монокристаллического материала осаждается на монокристаллической подложке; эпитаксиальный рост происходит таким образом, что кристаллографическая структура подложки воспроизводится в растущем слое; в растущем слое также воспроизводятся дефекты кристаллической решетки подложки. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR