PTTC.PNG
Skip to main content.

безмасляный насос

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке
  безмасляный насос
Полностью безмасляный (без применения масла) форвакуумный (до вакуума приблизительно 10-3 торр) насос; все чаще используется в новейшем оборудовании для обработки полупроводников, поскольку в нем не используется масло; безмасляный винтовой насос: ротор в форме винта выталкивает молекулы газа наружу.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
 
FR
 

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • dry pump

 

Внимание!

Закрыть