химическое осаждение из паровой фазы

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	химическое осаждение из паровой фазы Процесс в газовой среде, при котором осаждаются изолирующие или металлические пленки на подложку при повышенной температуре. Для ускорения химической реакции часто используется пониженное давление. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR