химико-механическая полировка

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	химико-механическая полировка химико-механическое выравнивание Метод удаления слоев твердого тела с помощью химико-механической полировки, выполняемой с целью выравнивания поверхности и выявления конфигурации межметаллических соединений; ключевой заключительный процесс поточного производства интегральных микросхем. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR