|
класс чистой комнаты
Государственная спецификация в форме стандарта FED-STD-209, которой определяется число частиц указанного размера и распределения по кубическому объему пространства для каждого класса.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html] |
EN |
|
FR |
|
|
Тематики
- полупроводниковые приборы
|