|
барботажное устройство
Контейнер с жидкостью, через которую пропускается тот или иной инертный газ-носитель для переноса некоторого парциального давления жидкости в технологический канал или в реакционную камеру.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html] |
EN |
|
FR |
|
|
Тематики
- полупроводниковые приборы
|