групповой процесс

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	групповой процесс Процесс, при котором обрабатываются одновременно несколько подложек; противоположен обработке единственной подложки; например, термическое окисление в печи (горизонтальной или вертикальной) представляет собой показательный пример группового процесса. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR