PTTC.PNG
Skip to main content.

озоление
Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке
  озоление
 Удаление (путем испарения) органических материалов (например, фоторезиста) с поверхности подложки в среде сильного окислителя, например, озоление с помощью кислородной плазмы.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN

FR

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • ashing

 

Внимание!

Закрыть