химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении Процесс химического осаждения из паровой фазы, выполняемый при атмосферном давлении; результатом обычно бывает низкое качество пленки и низкая конформность по сравнению с аналогичным процессом при низком давлении (LPCVD). [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR