анизотропное травление

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	анизотропное травление Травление, при котором скорость травления в направлении, перпендикулярном к поверхности, много выше, чем в направлении, параллельном поверхности; при этом не происходит никакого подтравливания, то есть минимизирована поперечная деформация структуры; необходимо для определения очень плотноупакованных геометрий. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR