PTTC.PNG
Skip to main content.

эпитаксия атомарных слоев

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке
  эпитаксия атомарных слоев
Процесс осаждения атомарных слоев, при котором образуется эпитаксиальный слой.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN

FR

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • ALE
  • atomic layer epitaxy

 

Внимание!

Закрыть