осаждение атомарных слоев. Справочник технического переводчика. Интент.

	осаждение атомарных слоев Осаждение атомарных слоев, метод осаждения, при котором осаждение каждого атомарного слоя материала управляется предварительно осажденным слоем исходного реагента; исходные реагенты и различные компоненты пленки вводятся попеременно; особенности метода – 100 %-ое покрытие за один этап и очень хорошая конформность; метод используется, например, при осаждении разных диэлектриков для создания МОП-затворов. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR

осаждение атомарных слоев