микроэлектромеханические системы. Справочник технического переводчика. Интент.

	микроэлектромеханические системы Технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков [http://www.dunwoodypress.com/148/PDF/Biotech_Eng-Rus.pdf] микроэлектромеханические системы Микроэлектромеханические системы, получаемые микрообработкой в кремнии; обычно встраиваются в интегральные схемы; обычно разделяются на две категории, микродатчиков и микроприводов; в зависимости от применяемого способа действия основаны на электромагнитных, термоупругих, пьезоэлектрических или пьезорезистивных эффектах. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR

микроэлектромеханические системы