|
ионная имплантация
Процесс изменения физических или химических свойств приповерхностного слоя твердого тела путем внедрения соответствующих атомов потоком ионизированных частиц.
[http://www.manual-steel.ru/eng-a.html]
ионная имплантация
Средство для введения легирующих добавок в полупроводниковый материал. Заряженные атомы (ионы) ускоряются в электрическом поле и внедряются в полупроводниковый материал. Данный метод особенно эффективен для создания тонких легированных областей. Такой процесс гораздо точнее, чем диффузионный метод легирования.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html] |
EN |
|
FR |
|
|
Тематики
- металлургия в целом
- полупроводниковые приборы
|