|
осаждениe из парогазовой фазы
нанесениe покрытий из парогазовой фазы
см. газофазноe химическоe осаждениe
[Терминологический словарь МЕТАЛЛЫ. Москва-Запорожье 2005] |
|
Синонимы
- нанесениe покрытий из парогазовой фазы
EN
- chemical vapour deposition
- CVD-process
DE
- chemische Abscheidung aus der Gasphase
FR
- déposition chimique à la phase de vapeurogaz
|