|
газофазное химическое осаждение
химическое осаждение из паровой фазы CVD-процесс
метод нанесения покрытий путем конденсации на подложке продуктов химических реакций, протекающих в газах, и (или) путем химического взаимодействия между газовой фазой и подложкой
[Терминологический словарь МЕТАЛЛЫ. Москва-Запорожье 2005] |
|
Синонимы
- химическое осаждение из паровой фазы
- CVD-процесс
EN
- chemical vapour deposition
- CVD-process
- chemical vapourplating
- gas plating
- thermochemical plating
DE
- chemische Abscheidung aus der Gasphase
- CVD-Prozeß
- CVD-Verfahren
|