|
пространственный масштаб
Определяет относительные размеры (длины, площади, зазоры и др.) – например, для элементов полупроводниковых микросхем или микро- и наноэлектромеханических систем (см. также MEMS, NEMS).
[Э.М. Пройдаков, Л.А. Теплицкий] |
EN |
|
FR |
|
|
Тематики
- информационные технологии в целом
|