подложка (м. эл.)

Дата последнего изменения:2015.08.24
Сообщить об ошибке

	подложка (м. эл.) Обычно полупроводниковая пластина (монокристалл), предназначенная для создания на ней пленок, гетероструктур и выращивания микрокристаллов с помощью эпитаксии (гетероэпитаксии, гомоэпитаксии, эндотаксии), кристаллизации и т. д. [И.А. Щапова. Англо-русский толковый словарь по оптике и оптоэлектронике. 2012]
EN
FR