пленочная интегральная схема. Справочник технического переводчика. Интент.

	пленочная интегральная схема Создаются путем осаждения при низком давлении (порядка 1x10-5 мм рт. ст.) различных материалов в виде тонких (толщиною < 1 мкм) или толстых (толщиной > 1 мкм) пленок на нагретую до определенной температуры полированную подложку (обычно из керамики). В качестве материалов применяют алюминий, золото, титан, нихром, окись тантала, моноокись кремния, титанат бария, окись олова и др. [И.А. Щапова. Англо-русский толковый словарь по оптике и оптоэлектронике. 2012]
EN
FR

пленочная интегральная схема