ЭЦР-источник ионов ускорителя

Дата последнего изменения:2011.03.11
Сообщить об ошибке

	ЭЦР-источник ионов ускорителя Плазменный источник ионов ускорителя, в котором плазма создается высокочастотным разрядом, а для увеличения коэффициента ионизации в области отбора ионов используется электронно-циклотронный резонанс. [ГОСТ Р 52103-2003]
EN
FR