|
испарительно-ионный вакуумный насос
Геттерно-ионный вакуумный насос, в котором ионизированный газ направляется к поверхности геттера, получаемой в результате непрерывного или периодического испарения.
[ГОСТ 5197-85] |
EN |
|
FR |
|
|
EN
- sublimation ion vacuum pump
DE
- Ionenverdampfervakuumpumpe
FR
- pompe à vide ionique à sublimation
|