|
геттерно-ионный вакуумный насос
Геттерный вакуумный насос, в котором, наряду с хемосорбцией, возникает ионизация газа с последующим внедрением ускоренных ионов в поверхность распыленного геттера.
[ГОСТ 5197-85] |
EN |
|
FR |
|
|
EN
DE
FR
- pompe à vide ionique à sorbeur
|