|
ионный вакуумный насос
Кинетический вакуумный насос, в котором молекулы газа ионизируются, а затем перемещаются к выходу насоса при помощи электрического и магнитного полей или одного электрического поля.
[ГОСТ 5197-85] |
EN |
|
FR |
|
|
EN
DE
FR
- pompe à ionisation à vide
|