микроинтерферометр. Справочник технического переводчика. Интент.

	микроинтерферометр Прибор для измерения неровностей на наружных поверхностях металлоизделия с направл. следами механич. обработки, а тж. для определения толщины пленочных покрытий. В оптич. схеме м. использованы интерферометр и микроскоп, что позволяет одноврем. наблюдать исслед. поверхность и интерференц. картину, получ. в рез-те взаимодействия двух когерентных световых волн: сравнения, отраж. отобразц. зеркала, и отраж. от исслед. поверхности. С помощью м. можно измерять высоты неровностей от 0,03 до 1 мкм. Нек-рые м. имеют дополнит. устр-ва для измерения неровностей до 10 мкм. [http://metaltrade.ru/abc/a.htm]
EN
FR

микроинтерферометр