|
степень вакуума
Характеристика вакуума в интервалах давлений, определяющих соотношение средней длины свободного пути молекул с линейным размером откачиваемого сосуда, характерным для рассматриваемого процесса.
Примечание
Принимают следующие интервалы давлений:
от 100 кПа до 100 Па - для низкого вакуума;
от 100 Па до 0,1 Па - для среднего вакуума;
от 0,1 Па до 10 мкПа - для высокого вакуума;
ниже 10 мкПа - для сверхвысокого вакуума.
[ГОСТ 5197-85] |
EN |
|
FR |
|
|
|