тетраэтилортосиликат. Справочник технического переводчика. Интент.

	тетраэтилортосиликат ТЭОС Si(OC₂H₅)₄ Газообразный реагент, обычно используемый в процессах химического осаждения SiO₂ из паровой фазы; обеспечивает хорошую конформность покрытия; относительно инертное вещество, жидкое при комнатной температуре; термически разлагается при температуре около 700 ^oC с образованием SiO₂; при дополнительном использовании плазмы температура осаждения уменьшается до значения ниже 500 ^oC. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR

тетраэтилортосиликат