PTTC.PNG
Skip to main content.

избирательное химическое осаждение из паровой фазы

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке
  избирательное химическое осаждение из паровой фазы
Процесс химического осаждения из паровой фазы, при котором тонкопленочный материал осаждается только в выбранных местах на поверхности подложки; избирательность осаждения управляется химическим составом поверхности, который можно локально изменять.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN

FR

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • SACVD
  • selective area chemical vapor deposition

 

Внимание!

Закрыть