фоторезист

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	фоторезист Светочувствительная жидкость, наносимая на подложку в виде однородной тонкой пленки. После обжига выполняется экспозиция с помощью маски с конкретной конфигурацией. Материал, остающийся после проявления, сопротивляется последующим травлению или имплантации. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR