PTTC.PNG
Skip to main content.

индуктивно связанная плазма

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке
  индуктивно связанная плазма
Плазма высокой плотности, используемая для обработки полупроводников, в частности, для травления.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN

FR

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • ICP
  • inductively coupled plasma

 

Внимание!

Закрыть