вертикальная печь (в полупроводниковых приборах). Справочник технического переводчика. Интент.

	вертикальная печь (в полупроводниковых приборах) Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с вертикальным расположением технологического канала и горизонтальным расположением подложек внутри канала; превосходит горизонтальную печь по постоянству нагрева, совместима с автоматической загрузкой подложек и занимает меньше места; необходимо предотвращать деформацию закрепленных горизонтально подложек; предназначена для групповой обработки. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR

вертикальная печь (в полупроводниковых приборах)