PTTC.PNG
Skip to main content.

горизонтальная печь (в полупроводниковых приборах)

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке
  горизонтальная печь (в полупроводниковых приборах)
Печь для высокотемпературной обработки полупроводниковых подложек с горизонтальным расположением технологического канала и вертикальным расположением подложек в кассете; используется для термического окисления, химического осаждения из паровой фазы, диффузии и отжигов; предназначена для групповой обработки; противоположная конструкция: вертикальная печь.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN

FR

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • furnace horizontal

 

Внимание!

Закрыть