сухое травление

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	сухое травление Сухое травление выполняется в газовой фазе; может быть или чисто химическим (плазменное травление), или чисто физическим (ионным травлением), или комбинацией обеих методов (реактивное ионное травление, RIE). [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR