|
сухое травление
Сухое травление выполняется в газовой фазе; может быть или чисто химическим (плазменное травление), или чисто физическим (ионным травлением), или комбинацией обеих методов (реактивное ионное травление, RIE).
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html] |
EN |
|
FR |
|
|
Тематики
- полупроводниковые приборы
|