криогенный насос

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке

	криогенный насос Высоковакуумный насос, функционирующий в диапазоне давлений от около 10^-3 торр до 10^-10 торр; молекулы газа удаляются из вакуума благодаря их захвату на охлажденных поверхностях; обеспечивает эффективное и без загрязнений откачивание; обычно используется в высококачественном вакуумном оборудовании при производстве полупроводников. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
FR