PTTC.PNG
Skip to main content.

анизотропное травление

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке
  анизотропное травление
Травление, при котором скорость травления в направлении, перпендикулярном к поверхности, много выше, чем в направлении, параллельном поверхности; при этом не происходит никакого подтравливания, то есть минимизирована поперечная деформация структуры; необходимо для определения очень плотноупакованных геометрий.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN

FR

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • anisotropic etch

 

Внимание!

Закрыть