PTTC.PNG
Skip to main content.

химическое осаждение атомарных слоев из паров

Дата последнего изменения:2012.11.01
Сообщить об ошибке
  химическое осаждение атомарных слоев из паров
То же, что осаждение атомарных слоев
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN

FR

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • ALCVD
  • atomic layer chemical vapor deposition

 

Внимание!

Закрыть