PTTC.PNG
Skip to main content.

микроэлектромеханические системы

Дата последнего изменения:2012.11.03
Сообщить об ошибке
  микроэлектромеханические системы
Технология изготовления интегральной схемы при производстве микромеханических, оптических, электромеханических и биосенсорных датчиков
[http://www.dunwoodypress.com/148/PDF/Biotech_Eng-Rus.pdf]

микроэлектромеханические системы
Микроэлектромеханические системы, получаемые микрообработкой в кремнии; обычно встраиваются в интегральные схемы; обычно разделяются на две категории, микродатчиков и микроприводов; в зависимости от применяемого способа действия основаны на электромагнитных, термоупругих, пьезоэлектрических или пьезорезистивных эффектах.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]
EN
 
FR
 

Тематики

  • биотехнологии
  • полупроводниковые приборы

EN

  • MEMS
  • micro electromechanical system
  • micro-electromechanical system

 

Внимание!

Закрыть