PTTC.PNG
Skip to main content.

электронно-лучевая литография

Дата последнего изменения:2015.08.24
Сообщить об ошибке
  электронно-лучевая литография
Метод переноса рисунка с фотошаблонов на кремниевые пластины, основанный на излучении горячих электронов
[И.А. Щапова. Англо-русский толковый словарь по оптике и оптоэлектронике. 2012]
EN

FR

Тематики

  • оптика, оптические приборы и измерения

EN

  • e-beam lithography

 

Внимание!

Закрыть